ZONE 02 · 회로 설계실 · 포토 노광동

포토 노광동 3D

3D LITHO

시나리오 1/3

ZONE 01 이어받은 웨이퍼를 확인하는 중…

SOURCE248

CD163

SHARP100

? 를 누르면 무엇인지 알려 줍니다

지금 · 노광 대기

노광 조건 조작손잡이를 초록 구간에 맞춥니다대기 중

1빛의 종류를 고릅니다

2빛의 양과 초점을 맞춥니다

노광량 맞음 58mJ/cm²

20초록 = 알맞은 구간80

초점 맞음 +120nm

-300초록 = 또렷한 구간+300

3마스크를 정렬마크에 맞춥니다 맞음 60nm 어긋남

실습 패널

HANDS-ON

이 시나리오에서 할 일

맞춘 조건 0/3 예상 등급 —

지금 조건이면미리보기

선폭 CD

0nm

선명도

웨이퍼당 칩

0개

지금 일어나는 일

1웨이퍼에 감광액(PR)을 얇게 바릅니다 2마스크에 빛을 쬐어 회로 그림자를 웨이퍼에 비춥니다 3렌즈가 그림자를 작게 줄여 웨이퍼에 맺힙니다

사진 인화와 같은 원리입니다. 빛을 받은 감광액만 성질이 바뀌고, 다음 단계인 현상에서 씻겨 나갑니다.

노광 진행

받은 빛 0 mJ/cm²맺힌 선폭 0 nm

배속

현상 (Develop)

1현상액에 담그면 빛을 받은 감광액이 녹아 나갑니다 2남은 감광액이 곧 회로 모양입니다 3확대경으로 선이 제대로 생겼는지 검사합니다

관찰 기록시도할수록 쌓입니다

아직 기록이 없습니다

AI SEMICONDUCTOR
ISLAND HEXAWORLD EDU

ZONE 02 포토 노광동 – AI반도체 시뮬레이션 CERT No. SI-02-000000

미래직업 자격증

미세회로 노광 공정기술사

2급 · 종합 81점

성명:

귀하는 아래와 같이 회로 패턴을 웨이퍼에 새겼습니다:

빛의 파장·노광량·초점을 스스로 맞추어 미세 회로 패턴을 전사하였음.

선폭 163nm · 선명도 100% · 정렬 오차 0nm

규격에 맞는 패턴을 완성하였음을 인증합니다.

수율

선폭 CD

0nm

양품 칩

0개

통과 시나리오

0/3회

발급일: 2026-09-10

HEXAWORLD EDU AI반도체 시뮬레이션 운영위원회

CERTIFICATE
OF ACHIEVEMENT HEXAWORLD EDU

본 자격증은 교육용 콘텐츠 학습 결과를 인증하는 것으로 국가공인 자격이 아닙니다.

이 자격증과 이어지는 실제 직무

반도체 포토 공정기술 — 노광량·초점·정렬 조건(레시피)을 정하고 선폭을 관리합니다.
마스크(레티클) 설계 — 빛의 회절을 계산해 마스크 도안을 보정합니다(OPC).

이름에 ‘반도체’가 들어가는 국가기술자격 : 반도체설비보전기능사 · 반도체커스텀레이아웃산업기사

ZONE 03으로 전달→ 패턴 웨이퍼 0장· 선폭 0nm· 등급 -